该典例出自于华中省份开家大半导体技术制作业机构,基本工作制造模块化电路设计电源芯片。在工作制造流程中,晶圆拆洗、蚀刻等道工序需使用的更多手机级磷酸(溶解度≥85%),从产生了高浓硫酸浓度含磷焦化废水。机构原先的正确处理服务设施就没有办法达到逐步非常严格的废气标淮(TP≤0.5mg/L),急需要自动升级更新。
生产废水物质及由来
工业废液重点由来于6个关键点:晶圆清晰工业废液(占总储水量60%)、产品冲干净工业废液(30%)或是地上冲干净工业废液(10%)。生活饮用水显著特点展示为:pH值1.5-2.5,总磷盐浓度800-1200mg/L,氟阴阳离子含氧量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并带有轻微高价属(铜、锌等)。
整理具体步骤具体步骤
内容选取"预整理+检查是否沉垫+二级硫化+深入净化"的组合式工艺技术:
转换池
:义均水质标准用水量,安装有pH网络污染监测设备
两级想法池
:添加石粉乳调整pH至8.5-9.0,成型Ca3(PO4)2沉定
一级生理反应池
:放入PAC和PAM精炼二沉池功能
斜板发展池
:进行固液脱离,废水进行脱水处理体系
Fenton硫化单无
:H2O2与Fe²⁺融合帮助分解生物碳物
多物料活性炭管道过滤器
:石英晶体砂+活力性炭组合成过滤水,为了保证出水量清辙
化合物互转系统软件
:进步骤清理的残留物合金金属亚铁离子
终于效用
设计运营稳定性后,喷水水质检测:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟正离子≤5mg/L,各类依据好于《手机工农业水造成的废水释放口的标准》(GB 39731-2020)。第年变少磷释放口约15吨,污水引发量较民俗工艺技术降40%,运营成本费操控在8.两元/吨水。