该厂为8屏幕尺寸晶圆生产销售线匹配的超超纯水程序，一天引发含硅废液150吨。废液中虽无巨资属，但硅纯度高易积垢，且阻值率需提高18MΩ·cm就能化工废水净化处理。改变净化处工院艺始终无法需要满足新实施的《电商化工水造成的挥发性有机物污染物规格》（GB39731-2020）特别污染物允许值。 废水处理工艺成分表结构特征 主要的环境破坏物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒状硅（颗粒直径0.1-1μm） 专项 规定 ：TOC<10μg/L，硼含锌量<5μg/L 水环境形态 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅氧化物姿态很复杂 除理新工艺步奏 全新主要采用"梯级膜分离处理+电去铁离子"团体制作工艺： 微滤预解决 ：1μm瓷器膜屏蔽广告大颗粒剂硅，通量持续80LMH 亚铁离子互转树脂胶 ：D201大孔树脂胶使用性吸咐硅酸氧分子 二级考试RO机系统 ：1段环保再生资源回成品率60%，其二段选择高脱硼膜元器件 EDI电去阴离子 ：直流电压黏度2A/m²，持续时间除去残存化合物 紫外线消毒 ：254nm太阳光的紫外线服用量40mJ/cm² 技术水平重点 设计规划专门的阻硅剂（有机化学胺类组合物），减缓膜破坏时间间隔3倍 EDI引擎技术创新流道定制，硅快速清理率升降至99.8% 迅雷在线硅了解仪（检测的空间0.1-500μg/L）管控有目的管控 正常运行作用 经第三步方论文检测： 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼份量从8μg/L低于0.3μg/L 平台回收利用率从原40%优化至68% 膜拆换期限延长时间至5年，年作业生产成本减轻35%