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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导电子器件生生产产商在晶圆粗加工阶段中,安全使用硅烷开展硅本质生长期,废气排放清洗塔生产高密度含硅废渣。废渣还具有pH浮动大(2-11)、硅硫含量高的特征,传统式解决做法易出来硅垢堵死话题。 废气含量及从何而来 污水关键成分表为: 融解性硅酸盐 :SiO₂氧浓度达1000-1500mg/L 硫酸钠/氢被氧化钠 :洗衣塔酸碱平衡洗衣液残余的 颗粒肥料硅 :纳米技术级SiO₂溶液 痕量砷 :主要原料不溶物带 清理技术步奏 科学创新使用"两极与+膜过滤清洁+多效蒸发成果"制作工艺: 1阶段与 :用CaO设定pH至4-5,生产硅酸钙沉淀出的,硅取除率60%。 一级与 :加Na₂CO₃将pH升高至9,进步骤石雕文化沉淀超过硅,串并联用镁剂除砷。 反渗透装置系统 :0.02μm陶瓷厂家膜脱水纳米技术级硅颗粒状,通量稳定可靠在80LMH。 MVR减压蒸馏器 :高浓高盐生活污水,心得出Na₂SO₄副產品,水中水回用率超90%。 终究作用 总硅从1500mg/L调至5mg/L以下的 砷水分含量从0.8mg/L调至0.01mg/L 平台无水垢启动不低于2年 第一年环保再生资源回收硫酸钠钠结晶体约800吨

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