某半导电子器件生生产产商在晶圆粗加工阶段中,安全使用硅烷开展硅本质生长期,废气排放清洗塔生产高密度含硅废渣。废渣还具有pH浮动大(2-11)、硅硫含量高的特征,传统式解决做法易出来硅垢堵死话题。
废气含量及从何而来
污水关键成分表为:
融解性硅酸盐
:SiO₂氧浓度达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢被氧化钠
:洗衣塔酸碱平衡洗衣液残余的
颗粒肥料硅
:纳米技术级SiO₂溶液
痕量砷
:主要原料不溶物带
清理技术步奏
科学创新使用"两极与+膜过滤清洁+多效蒸发成果"制作工艺:
1阶段与
:用CaO设定pH至4-5,生产硅酸钙沉淀出的,硅取除率60%。
一级与
:加Na₂CO₃将pH升高至9,进步骤石雕文化沉淀超过硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透装置系统
:0.02μm陶瓷厂家膜脱水纳米技术级硅颗粒状,通量稳定可靠在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:高浓高盐生活污水,心得出Na₂SO₄副產品,水中水回用率超90%。
终究作用
总硅从1500mg/L调至5mg/L以下的
砷水分含量从0.8mg/L调至0.01mg/L
平台无水垢启动不低于2年
第一年环保再生资源回收硫酸钠钠结晶体约800吨